Eksimerinių lazerių statyba (su diagrama)
Perskaitę šį straipsnį, sužinosite apie eksimerinių lazerių konstrukciją diagramos pagalba.
Pavadinimas excimer kilęs iš sužadintų dimmerių molekulių, kurios yra lazeriniai prieskoniai. Eksimeras yra diatominė molekulė, kuri egzistuoja tik elektroniniu būdu sužadinta. Nors eksimeriniai lazeriai yra dujų tipo, jiems skiriamas ypatingas dėmesys, nes jie taip pat gali būti laikomi cheminiais lazeriais.
Iš esmės susideda iš retos dujos (helio, argono, kriptono, neono) ir halogeno (chlorido, flurino, bromo, jodo) mišinio, įdėtos į ertmę, į kurią energija išsklaidoma elektronų pluošte arba elektros iškrova, kuri sukelia elektrai sužadinta molekulė, kuri gali egzistuoti tik šioje sužadintoje būsenoje. Eksimeriniame lazeryje paprastai naudojami dujų mišiniai išvardyti 14.4 lentelėje.
Komerciniai eksimeriniai lazeriai, veikiantys su šiais retaisiais dujų halogenidais, gali pasiekti 2% produkcijos efektyvumą.
Pramoninio eksimerinio lazerio konstrukciniai bruožai pateikti 14.42 pav.
Šie lazeriai šiek tiek skiriasi nuo kitų lazerių tipų, nes padidėjimas yra toks stiprus, kad jiems nereikia osciliatoriaus. Šiuo metu populiariausiame kriptono fluorido lazeryje elektros iškrova susidaro kriptono, fluoro ir neono dujų mišinyje maždaug keturių (4) atmosferų. Sukurtas sužadintas „DF“ reguliatorius, kuris patiria stimuliuojamą emisijos procesą. Jis generuoja ultravioletinius fotonus trumpame pulse kiekvienam kondensatoriaus banko išleidimui į dujų mišinį.
Eksimeris „KrF *“ nedelsdamas grįžta į savo sudedamąsias atomas, išskiriančias fotonus, arba tuo pačiu metu, arba stimuliuojant emisiją, kad gautų lazerio spindulį, esant spektrui ultravioletiniame regione (0, 1–0, 4 val.). Paprastai impulsai yra labai trumpi, apie 20 ns (20 x 10–9 sekundžių), bet labai galingi, paprastai apie 35 MW; taigi impulsui tenkanti energija yra 0, 2 J / impulsas. Dėl rezonansinio virpesio stokos šių lazerių režimas yra labai prastas. Procesas labiau susijęs su spontaniška emisija nei lazerio virpesiais.
Praktikoje eksimeriniai lazeriai yra daugiafaziai lazeriai, kurie siūlo skirtingų linijų emisiją plataus bangos ilgio skalėje, priklausomai nuo dujų mišinio lazerio ertmėje. Nors jų charakteristikos gali būti optimizuotos iš konkretaus dujų mišinio keičiant elektrodo formos ir grandinės detales, šie lazeriai gerai veikia visiems dujų mišiniams su vienu elektrodų rinkiniu. Bangos ilgis keičiamas keičiant dujų mišinius.
Dauguma komercinių eksimerinių lazerių veikia nuo 2 iki 3 cm elektrodų, 25-35 KV gedimo įtampos ir specialiai profiliuojamų elektrodų vienalytės iškrovos atveju.
Kai kurie išskirtiniai eksimerinio lazerio bruožai yra geras energijos konversijos efektyvumas, atkuriamumo impulsų iki impulso ir didesnės vidutinės galios dėka šie lazeriniai metodai yra perspektyvūs didelės apimties medžiagų apdorojime.
